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透射电镜单倾拉伸原位系统
在样品杆内置拉伸控制系统,采用高精密减速齿轮,在0.2um--50um/s范围内可对样品施加拉伸、压缩控制。杆身采用高强度钛合金材质,避免长期使用过程杆身弯曲变形;样品杆采用中轴线设计,内置高精密减速齿轮,拉伸步长优于100nm,运动直线性优良。样品杆尖端的矩形开口两端分别有一个紧固点,一端为固定安装点,另一端为可移动的十字头,在拉伸、压缩过程中可将样品安全地固定在相应位置。
透射电镜高倾角冷冻传输系统
以独特的创新设计及加工工艺,在透射电镜样品杆内搭建铜网伸缩载体和液氮冷冻传输模块,可实现样品在冷冻超低温环境下的高分辨成像。
高精度芯片组装仪
高精度芯片组装仪用于芯片上下片的对齐封装,具有xyz和旋转等多维运动功能,可实现“0”误差上下芯片内部精准键合以及外部封装操作。独立适配的真空移样仪可保证芯片安全移动,防止跌落,减少芯片损伤。高分辨数字显微系统由自动对焦相机、数码显示屏、高分辨显微镜、照明同轴光源组成,具有拍照、录像等功能,分辨率优于1微米。
高真空检漏仪
高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统,具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境,检测灵敏度高,可快速检查样品杆和MEMS芯片密封性,保证电镜安全;也可存储样品杆,长期处于高真空状态,减少进样预抽时间。
芯片环境制样仓
可在舱内鼓入水蒸气,使得芯片注液(水溶液)时舱内达到饱和蒸气压,也可配合向舱内通入惰性气体如氮气、氩气等保护气,提高芯片注液成功率,提高实验效率。芯片环境制样仓尺寸支持客户定制。
电化学工作站
温度控制器
针对电镜客户定制研发的温度控制器适配我司原位微区加热芯片使用,采取电加热的方式对原位加热芯片的微区进行加热控温,将加热芯片和高频反馈温度控制器通过电学连接单元进行温度信号的高频传输,通过高精度温度控制程序实现温度信号的高精度高频率输出、接收、反馈、调节,从而进行程序升温降温过程。
原位液氛纳流控安全管理系统