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扫描电镜气体加热原位系统

扫描电镜气体加热原位系统

采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建气氛纳米实验室,通过MEMS芯片对样品施加热场控制,在进行热学性质测量的同时,结合使用EDS等多种不同模式,实现从纳米层面实时、动态监测样品在气氛环境下随热场变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等关键信息。

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