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高精度芯片组装仪

产品特点

高精度芯片组装仪用于芯片上下片的对齐封装,具有xyz和旋转等多维运动功能,可实现“0”误差上下芯片内部精准键合以及外部封装操作。独立适配的真空移样仪可保证芯片安全移动,防止跌落,减少芯片损伤。高分辨数字显微系统由自动对焦相机、数码显示屏、高分辨显微镜、照明同轴光源组成,具有拍照、录像等功能,分辨率优于1微米。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
  • 标配清单 高精度移样机械手 1台
    三维移动平台和旋转载台 1套
    芯片载台 1台
    真空发生装置 1台
    高分辨数字显微系统 1套

                   

           

     

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    标配清单 高精度移样机械手 1台
    三维移动平台和旋转载台 1套
    芯片载台 1台
    真空发生装置 1台
    高分辨数字显微系统 1套

                   

           

     

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