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SEM真空转移舱
SEM Vacuum Transfer Chamber(SEM真空转移舱)，可将锂电材 料、生物材料等样品从手套箱真空转移至扫描电镜样品舱，具有体积小 巧、结构简洁、真空密封等优点，解决空气敏感类样品从制样到表征的真空转移问题。
扫描电镜液体电化学原位系统
通过MEMS芯片对薄层或纳米电池系统施加电信号等，结合EDS等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在工况下的微观结构演化、反应动力学、相变、化学变化、表/界面处的结构和成分演化等关键信息。
扫描电镜液体热电原位系统
采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建液氛纳米实验室，通过MEMS芯片对薄层或纳米电池系统施加热场和电信号等，结合使用EDS等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测电极、电解液及其界面在液氛环境中随温度、电信号变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、化学变化、表/界面处的结构和成分演化等关键信息。
扫描电镜气体高温原位系统
采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建气氛纳米实验室，通过MEMS芯片对样品施加热场控制，在进行热学性质测量的同时，结合使用EDS等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测样品在气氛环境下随热场变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等关键信息。
扫描电镜高温环境原位系统
通过MEMS芯片对样品施加热场控制，在原位样品台内构建热场自动控制及反馈测量系统，结合EDS、EBSD等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。
扫描电镜高温力学原位系统
通过MEMS芯片在原位样品台内构建力、热复合多场自动控制及反馈测量系统，结合EDS、EBSD等多种不同模式，实现从纳米层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度、施加力变化产生的微观结构演化、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等关键信息。
扫描电镜高温拉伸原位系统
是在扫描电镜内构建力、热复合多场自动控制及反馈测量系统，利用扫描电镜强大的景深分辨能力，结合EDS、EBSD等分析工具，实现从纳米层面实时、动态监测样品在拉伸、压缩、弯曲、加热等条件作用下的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等关键信息，同时进行力学性能测试，分析样品受力断裂机制等。
扫描电镜拉伸原位系统
是在扫描电镜内构建力学自动控制及反馈测量系统，利用扫描电镜强大的景深分辨能力，结合EDS等分析工具，实现从纳米层面实时、动态监测样品在拉伸、压缩、弯曲等条件作用下的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等关键信息，同时进行力学性能测试，分析样品受力断裂机制等。
