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高精度芯片组装仪

高精度芯片组装仪

高精度芯片组装仪用于芯片上下片的对齐封装，具有xyz和旋转等多维运动功能，可实现“0”误差上下芯片内部精准键合以及外部封装操作。独立适配的真空移样仪可保证芯片安全移动，防止跌落，减少芯片损伤。高分辨数字显微系统由自动对焦相机、数码显示屏、高分辨显微镜、照明同轴光源组成，具有拍照、录像等功能，分辨率优于1微米。

高真空检漏仪

高真空检漏仪

高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统，具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境，检测灵敏度高，可快速检查样品杆和MEMS芯片密封性，保证电镜安全;也可存储样品杆，长期处于高真空状态，减少进样预抽时间。

芯片环境制样仓

芯片环境制样仓

可在舱内鼓入水蒸气，使得芯片注液（水溶液）时舱内达到饱和蒸气压，也可配合向舱内通入惰性气体如氮气、氩气等保护气，提高芯片注液成功率，提高实验效率。芯片环境制样仓尺寸支持客户定制。

电化学工作站

电化学工作站

温度控制器

温度控制器

针对电镜客户定制研发的温度控制器适配我司原位微区加热芯片使用，采取电加热的方式对原位加热芯片的微区进行加热控温，将加热芯片和高频反馈温度控制器通过电学连接单元进行温度信号的高频传输，通过高精度温度控制程序实现温度信号的高精度高频率输出、接收、反馈、调节，从而进行程序升温降温过程。

原位液氛纳流控安全管理系统

原位液氛纳流控安全管理系统

光源工作站

光源工作站

高均匀性一体式激光光源可集成不同波长的激光，可解决光催化等在精细发展方向的研究需要，在能量、光谱、辐照稳定性等方面可满足更高的性能要求，广泛应用于光解水制氢、光降解污染物、各类模拟可见光加速实验、各类模拟日光紫外波段加速实验等研究领域。由于能量稳定均匀，也可应用于光电化学、光功率测定、量子效率测定等场景。

液体杆自动清洗仪

液体杆自动清洗仪

流体杆清洗仪是一台具有全自动清洗系统的流道管清洗设备，其主要由清洁系统、补液系统、升降台、流体杆卡槽、显示屏等部分组成。该清洗仪通过液体冲洗和气体吹干两道程序实现对流体样品杆中流道管的清洁，避免液体样品受到污染而影响实验结果，确保科学实验的正常进行。触摸式面屏简洁易操作，同时自动化的程序设定使得流体管的清洁更加高效便捷。

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