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高真空检漏仪
高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统,具有极高的直接压力分辨率 和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境,检测灵敏度高,可快速检查 样品杆和MEMS芯片密封性,保证电镜安全;也可存储样品杆,长期处 于高真空状态,减少进样预抽时间。
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CHIPNOVA高真空存杆仪的极限真空度为10-6 hPa,最多可同时为6根TEM样品杆提供高真空存储环境,避免暴露在空气中吸附湿气及纳米纤维等杂质,减少样品杆进电镜后的抽真空时间,延长样品杆使用寿命,大幅提高实验室工作效率。