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扫描电镜高温力学原位系统

产品特点

通过MEMS芯片在原位样品台内构建力、热复合多场自动控制及反馈测量系统,结合EDS、EBSD等多种不同模式,实现从纳米层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度、施加力变化产生的微观结构演化、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的结构和成分演化等关键信息。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
  • a.SEM原位纳米力学样品台
    b.原位专用电镜法兰
    c.扫描样品台暂存
    d.MEMS力学加热芯片
    e.力学-温度控制程序
    f.温度控制器
    g.纳米探针操纵系统
    h.针尖制备系统
    i.附件包

     

     

     

     

     

     

    关键词:
    • 原位力学样品台
    • 原位扫描力学
    • SEM高温力学原位样品台
    • MEMS力学加热芯片
    • SEM力学原位样品台
    • 原位力学样品台
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    领先的力学性能

    ·1.高精度压电陶瓷驱动,纳米级别精度数字化精确定位。

    ·2.实现1000℃加热条件下压缩、拉伸、弯曲等微观力学性能测试。
    ·3.业界领先的nN级力学测量噪音。
    ·4.具备连续的载荷-位移-时间数据实时自动收集功能。
    ·5.具备恒定载荷恒定位循环加载控制功能,适用于材料的蠕变特性、应力松弛、疲劳性能研究。
    优异的热学性能

    ·1.高精密红外测温校正,微米级高分辨热场测量及校准,确保温度的准确性。

    ·2.超高频控温方式,排除导线和接触电阻的影响,测量温度和电学参数更精确。
    ·3.采用高稳定性贵金属加热丝(非陶瓷材料),既是热导材料又是热敏材料,其电阻与温度有良好的线性关系,加热区覆盖整个观测区域,升温降温速度快,热场稳定且均匀,稳定状态下温度波动≤±0.1℃。
    ·4.采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式,高频反馈控制消除误差,控温精度±0.01℃。
    ·5.独特多级复合加热MEMS芯片设计,控制加热过程热扩散,极大抑制升温过程的热漂移,确保实验的高效观察。
    高效的智能化软件

    ·1.人机分离,软件远程控制纳米探针运动和样品载台倾转,自动测量载荷-位移数据。

    ·2.自定义程序升温曲线。可定义10步以上升温程序、恒温时间等,同时可手动控制目标温度及时间,在程序升温过程中发现需要变温及恒温,可即时调整实验方案,提升实验效率。
    ·3.内置绝对温标校准程序,每块芯片每次控温都能根据电阻值变化,重新进行曲线拟合和校正,确保测量温度精确性,保证高温实验的重现性及可靠性。

           

     

     

     

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    类别 项目 参数
    基本参数 台体材质 高强度航空铝合金
    控制方式 高精度压电陶瓷
    样品载台倾转角 360°旋转和±90°倾斜
    EBSD/EDS 支持

           

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