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MEMS静态液体池芯片
采用键合内封及环氧树脂外封的封装方式,将上下两个芯片组成一个液体池(Liquid Cell),在TEM内结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式,实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在液氛环境中的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。
多孔氮化硅载网
以高纯单晶硅为基底,超薄氮化硅(10-50nm)为支撑膜,采用超高温镀膜技术,具有低应力耐腐蚀耐辐照等特点,可实现原子级分辨率,尤其适合球差电镜原子分辨表征,非常方便在不同分析仪器间转移分析,如TEM、AFM、XRD、EXAFS、Raman等。