原位力学压缩
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通过光纤引入的光源和MEMS芯片在原位样品台内构建光、热复合多场自动控制及反馈测量系统，结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随光场、温度变化产生的微观结构演化、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。
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高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统，具有极高的直接压力分辨率 和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境，检测灵敏度高，可快速检查 样品杆和MEMS芯片密封性，保证电镜安全;也可存储样品杆，长期处 于高真空状态，减少进样预抽时间。
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采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建液氛纳米实验室，通过MEMS芯片加热，结合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在液氛环境中随温度变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。
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通过MEMS芯片和光纤引入的光源在原位样品台内构建光、热复合多场自动控制及反馈测量系统，结合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在气氛环境下随光场、热场变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。
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采用MEMS微加工工艺在原位样品台内构建液氛纳米实验室，通过样品台内置的光纤将光作为外场条件搭载其上，通过MEMS芯片和光纤引入的光源对样品施加光场刺激条件，在进行光学性质测量的同时，结合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式，实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在液氛环境中随光场变化产生的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。
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