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High Vacuum Leak Checking Station

产品特点

由高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统组成,具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境,检测灵敏度高,可快速检查样品杆和MEMS芯片密封性,保证电镜安全;也可存储样品杆,长期处于高真空状态,减少进样预抽时间。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
  • 产品组成

     

    序号

    分项内容

    数量

    1

    可视化高真空检漏腔体(兼容指定电镜)

    1套

    2

    高真空预抽系统

    1套

    3

    高分辨数字显微系统:自动对焦相机、数码显示屏、高分辨显微镜、照明同轴光源

    1套

    4

    三维移动平台系统

    1套

  • 独特优势

     

    快捷、安全

    接口模块含真空控制阀,可在电源关闭时保持真空状态,也可在检漏完成时通入气体,快速取出样品杆;

     

    高分辨

    高分辨数字显微系统由自动对焦相机、数码显示屏、高分辨显微镜、照明同轴光源组成,分辨率优于1微米,帧率大于等于30帧/秒;

     

    低噪音

    采用多级减震设计,极大降低抽真空过程震感、噪音。

     

  • 功能参数

     

    功能

    参数

    整体尺寸

    L*W*H=600*600*1250,柜台高805(单位:mm),以实物为准;

    压力范围

    0-1000 hPa;

    适用电镜样品台

    FEI、JEOL、Hitachi;

    极限真空

    ≤8×10-7 hPa

    原位样品台检漏操作真空度

    ≤5.4×10-6 hPa;

    接口模块含真空控制阀,可在电源关闭时保持真空状态,也可在检漏完成时通入气体,快速取出样品杆;

    高分辨数字显微系统由自动对焦相机、数码显示屏、高分辨显微镜、照明同轴光源组成,分辨率优于1微米,帧率大于等于30帧/秒;

    采用多级减震设计,极大降低抽真空过程震感、噪音。

     

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