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高真空检漏仪

产品特点

高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统,具有极高的直接压力分辨率 和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境,检测灵敏度高,可快速检查 样品杆和MEMS芯片密封性,保证电镜安全;也可存储样品杆,长期处 于高真空状态,减少进样预抽时间。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
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    功能

    参数

    图像参数

    高分辨数字显微系统分辨率优于1微米,帧率≥30帧/秒;

    极限真空

    8×10-7 hPa,检漏真空:5.4×10-6 hPa,压力范围:0-1000 hPa;

    触屏控制

    实时显示检漏腔体真空度,一键开关,关闭时可保持真空状态, 检漏完成时可通气快速取杆;

    适用范围

    原位样品杆配套的液体池芯片、流体芯片、加热芯片;

    兼容电镜

    指定品牌样品杆;

    整体尺寸

    L*W*H=450*550*1250,柜台高805(单位:mm),以实物为准;

    工作噪音

    多级减震设计,大幅降低抽真空时的震感、噪音。

     

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