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高真空检漏仪

产品特点

高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统，具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境，检测灵敏度高，可快速检查样品杆和MEMS芯片密封性，保证电镜安全;也可存储样品杆，长期处于高真空状态，减少进样预抽时间。

功能	参数
图像参数	高分辨数字显微系统分辨率优于1微米，帧率≥30帧/秒;
极限真空	8×10-7 hPa，检漏真空:5.4×10-6 hPa，压力范围:0-1000 hPa;
触屏控制	实时显示检漏腔体真空度，一键开关，关闭时可保持真空状态，检漏完成时可通气快速取杆;
适用范围	原位样品杆配套的液体池芯片、流体芯片、加热芯片;
兼容电镜	指定品牌样品杆;
整体尺寸	LWH=4505501250，柜台高805(单位:mm)，以实物为准;
工作噪音	多级减震设计，大幅降低抽真空时的震感、噪音。