产品中心

高真空检漏仪

产品特点

高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统，具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境，检测灵敏度高，可快速检查样品杆和MEMS芯片密封性，保证电镜安全;也可存储样品杆，长期处于高真空状态，减少进样预抽时间。

类别	项目	参数
基本参数	分辨率	高分辨数字显微系统由自动对焦相机、数码显示屏、高分辨显微镜、照明同轴光源组成，分辨率优于1微米，帧率大于等于30帧/秒；
	极限真空	8×10^-7 hPa，检漏真空:5.4×10^-6 hPa，压力范围:0-1000 hPa;
	操作方式	接口模块含真空控制阀，可在电源关闭时保持真空状态，快速取出样品杆；
	压力范围	0-1000 hPa
	适用电镜	FEI、JEOL、Hitachi；
	整体尺寸	LWH=4505501250，柜台高805(单位:mm)，以实物为准;
	工作噪音	多级减震设计，大幅降低抽真空时的震感、噪音。