

- 产品组成
- 独特优势
- 功能参数
- 应用案例
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标配清单 可视化高真空原位检漏腔体(适配) 1套 真空数据数据读取及控制器 1套 检漏仪支架及柜体 1套 高真空发生系统 1套 高分辨数字显微系统 1套 三维移动支架 1套 -
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类别 项目 参数 基本参数 分辨率 高分辨数字显微系统由自动对焦相机、数码显示屏、 高分辨显微镜、照明同轴光源组成,分辨率优于1微米, 帧率大于等于30帧/秒; 极限真空 8×10-7 hPa,检漏真空:5.4×10-6 hPa,压力范围:0-1000 hPa; 操作方式 接口模块含真空控制阀,可在电源关闭时保持真空状态, 快速取出样品杆; 压力范围 0-1000 hPa 适用电镜 FEI、JEOL、Hitachi; 整体尺寸 L*W*H=450*550*1250,柜台高805(单位:mm),以实物为准; 工作噪音 多级减震设计,大幅降低抽真空时的震感、噪音。