+

高真空检漏仪

产品特点

高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统,具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境,检测灵敏度高,可快速检查样品杆和MEMS芯片密封性,保证电镜安全;也可存储样品杆,长期处于高真空状态,减少进样预抽时间。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
  • 标配清单 可视化高真空原位检漏腔体(适配) 1套
    真空数据数据读取及控制器 1套
    检漏仪支架及柜体 1套
    高真空发生系统     1套
    高分辨数字显微系统 1套
    三维移动支架 1套

                   

           

     

  •                

           

     

  • 类别 项目 参数
    基本参数 分辨率 高分辨数字显微系统由自动对焦相机、数码显示屏、 高分辨显微镜、照明同轴光源组成,分辨率优于1微米, 帧率大于等于30帧/秒;
    极限真空 8×10-7 hPa,检漏真空:5.4×10-6 hPa,压力范围:0-1000 hPa;
    操作方式 接口模块含真空控制阀,可在电源关闭时保持真空状态, 快速取出样品杆;
    压力范围 0-1000 hPa
    适用电镜 FEI、JEOL、Hitachi;
    整体尺寸 L*W*H=450*550*1250,柜台高805(单位:mm),以实物为准;
    工作噪音 多级减震设计,大幅降低抽真空时的震感、噪音。

           

     

    了解更多详情

相关产品