- 产品组成
- 独特优势
- 功能参数
- 应用案例
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a.原位加热样品台 b.扫描专用电镜法兰 c.扫描样品台暂存盒 d.MEMS原位加热芯片 e.温度控制程序 f.温度控制器 g.附件包 关键词:- 扫描电镜
- MEMS原位加热芯片
- 扫描电镜高温环境原位样品台
- SEM固体加热
- 原位扫描电镜加热电镜
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高分辨率 ·独创的MEMS微加工工艺，加热芯片视窗区域的氮化硅膜厚度最薄可达10 nm，可达到扫描电镜极限分辨率。 优异的热学性能 ·1.高精密红外测温校正，微米级高分辨热场测量及校准，确保温度的准确性。
·2.四电极的超高频控温方式，排除导线和接触电阻的影响，测量温度和电学参数更精确。 ·3.采用高稳定性贵金属加热丝（非陶瓷材料），既是热导材料又是热敏材料，其电阻与温度有良好的线性关系，加热区覆盖整个观测区域，升温降温速度快，热场稳定且均匀，稳定状态下温度波动≤±0.01℃。 ·4.采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式，高频反馈控制消除误差，控温精度±0.01℃。 ·5.独特多级复合加热MEMS芯片设计，控制加热过程热扩散，极大抑制升温过程的热漂移，确保实验的高效观察。 ·6.加热丝外部由氮化硅包覆，不与样品发生反应，确保实验的准确性。 智能化软件 ·1.人机分离，软件远程控制气体条件，全程自动记录实验细节数据，便于总结与回顾。
·2.自定义程序升温曲线。可定义10步以上升温程序、恒温时间等，同时可手动控制目标温度及时间，在程序升温过程中发现需要变温及恒温，可即时调整实验方案，提升实验效率。 ·3.内置绝对温标校准程序，每块芯片每次控温都能根据电阻值变化，重新进行曲线拟合和校正，确保测量温度精确性，保证高温实验的重现性及可靠性。 -
类别 项目 参数 基本参数 台体材质 高强度钛合金 漂移率 ＜0.5nm/min 视窗膜厚 标配20nm,或无膜 分辨率 扫描电镜极限分辨率 EDS/EBSD 支持 -
Synthetic scheme for the prepa- ration of ZIF-67 crystals and GC
SEM images, TEM images , and HRTEM images of GC (d−f),
ZIF-67 after heated
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