- 产品组成
- 独特优势
- 功能参数
- 应用案例
-
a.原位加热样品台 b.扫描专用电镜法兰 c.扫描样品台暂存盒 d.MEMS原位加热芯片 e.温度控制程序 f.温度控制器 g.附件包 关键词:- 扫描电镜
- MEMS原位加热芯片
- 扫描电镜高温环境原位样品台
- SEM固体加热
- 原位扫描电镜加热电镜
-
高分辨率 ·独创的MEMS微加工工艺,加热芯片视窗区域的氮化硅膜厚度最薄可达10 nm,可达到扫描电镜极限分辨率。 优异的热学性能 ·1.高精密红外测温校正,微米级高分辨热场测量及校准,确保温度的准确性。
·2.四电极的超高频控温方式,排除导线和接触电阻的影响,测量温度和电学参数更精确。 ·3.采用高稳定性贵金属加热丝(非陶瓷材料),既是热导材料又是热敏材料,其电阻与温度有良好的线性关系,加热区覆盖整个观测区域,升温降温速度快,热场稳定且均匀,稳定状态下温度波动≤±0.01℃。 ·4.采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式,高频反馈控制消除误差,控温精度±0.01℃。 ·5.独特多级复合加热MEMS芯片设计,控制加热过程热扩散,极大抑制升温过程的热漂移,确保实验的高效观察。 ·6.加热丝外部由氮化硅包覆,不与样品发生反应,确保实验的准确性。 智能化软件 ·1.人机分离,软件远程控制气体条件,全程自动记录实验细节数据,便于总结与回顾。
·2.自定义程序升温曲线。可定义10步以上升温程序、恒温时间等,同时可手动控制目标温度及时间,在程序升温过程中发现需要变温及恒温,可即时调整实验方案,提升实验效率。 ·3.内置绝对温标校准程序,每块芯片每次控温都能根据电阻值变化,重新进行曲线拟合和校正,确保测量温度精确性,保证高温实验的重现性及可靠性。 -
类别 项目 参数 基本参数 台体材质 高强度钛合金 漂移率 <0.5nm/min 视窗膜厚 标配20nm,或无膜 分辨率 扫描电镜极限分辨率 EDS/EBSD 支持 -
Synthetic scheme for the prepa- ration of ZIF-67 crystals and GC
SEM images, TEM images , and HRTEM images of GC (d−f),
ZIF-67 after heated
相关产品