- 产品组成
- 独特优势
- 功能参数
- 应用案例
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a.高温力学样品杆 b.MEMS力学加热芯片 c.力学-温度控制系统 d.温度控制器 e.纳米探针操纵系统 f.附件包 -
领先的力学性能：
1.高精度压电陶瓷驱动，纳米级别精度数字化精确定位。
2.实现1000℃加热条件下压缩、拉伸、弯曲等微观力学性能测试。
3.业界领先的nN级力学测量噪音。
4.具备连续的载荷-位移-时间数据实时自动收集功能。
5.具备恒定载荷、恒定位移、循环加载控制功能，适用于材料的蠕变特性、应力松弛、疲劳性能研究。
优异的热学性能：
1.高精密红外测温校正，微米级高分辨热场测量及校准，确保温度的准确性。
2.两电极的超高频控温方式，排除导线和接触电阻的影响，测量温度和电学参数更精确。
3.采用高稳定性贵金属加热丝（非陶瓷材料），既是热导材料又是热敏材料，其电阻与温度有良好的线性关系，加热区覆盖整个观测区域，升温降温速度快，热场稳定且均匀，稳定状态下温度波动≤±0.1℃。
4.采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式，高频反馈控制消除误差，控温精度±0.1℃。
5.独特多级复合加热MEMS芯片设计，控制加热过程热扩散，极大抑制升温过程的热漂移，确保实验的高效观察。
智能化软件：
1.人机分离，软件远程控制纳米探针运动，自动测量载荷-位移数据。
2.自定义程序升温曲线。可定义10步以上升温程序、恒温时间等，同时可手动控制目标温度及时间，在程序升温过程中发现需要变温及
恒温，可即时调整实验方案，提升实验效率。
3.内置绝对温标校准程序，每块芯片每次控温都能根据电阻值变化，重新进行曲线拟合和校正，确保测量温度精确性，保证高温实验的
重现性及可靠性。
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功能
参数
杆身材质
高强度钛合金
控制方式
高精度压电陶瓷
最大载荷
粗调范围X/Y/Z
粗调精度
细调范围X/Y/Z
细调分辨率
力测量噪音
温度范围
控温精度
温度稳定性
倾转角
适用电镜
Thermo Fisher/FEI, JEOL, Hitachi
适用极靴
ST, XT, T, BioT, HRP, HTP, CRP
(HR)TEM/STEM
支持
(HR)EDS/EELS/SAED
支持
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以形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微机电系统 (MEMS) 越来越受到人们的高度重视 , 对于尺度在 100μm 量级以下的样 品 , 会给常规的拉伸和压缩试验带来一系列的困难。纳米压缩 实验 , 由于在材料表面局部体积内只产生很小的压力 , 正逐渐 成为微 / 纳米尺度力学特性测量的主要工作方式。因此 , 开展 微纳米尺度下材料变形行为的实验研究十分必要。为了研究单 晶面心立方材料的微纳米尺度下变形行为 , 以纳米压缩实验为 主要手段 , 分析了铜纳米柱初始塑性变形行为和晶体缺陷对单 晶铜初始塑性变形的影响。结果表明铜柱在纳米压缩过程中表 现出更大程度的弹性变形。同时对压缩周围材料发生凸起的原 因和产生的影响进行了分析 , 认为铜纳米柱压缩时周围材料的 凸起将导致纳米硬度和测量的弹性模量值偏大。为了研究表面 形貌的不均匀性对铜纳米柱初始塑性变形行为的影响 , 通过加 热的方法 , 在铜纳米柱表面制备得到纳米级的表面缺陷 , 并对 表面缺陷的纳米压缩实验数据进行对比分析 , 结果表明表面缺 陷的存在会极大影响铜纳米柱初始塑性变形。通过透射电子显 微镜 ,铜纳米柱压缩点周围的位错形态进行了观察 , 除了观察 到纳米压缩周围生成的位错 , 还发现有层错、不全位错及位错 环的共存。表明铜纳米柱的初始塑性变形与位错的发生有密切的联系。
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