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纳米探针操纵系统

产品特点

采用进口精密器件,内置DSP电容测量SOC,具备载荷控制、位移控制、循环加载控制等功能,可以实现压缩、弯曲、疲劳、纳米压痕、纳米划痕等测试。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
  • 产品组成

    采用进口精密器件,内置DSP电容测量SOC,具备载荷控制、位移控制、循环加载控制等功能,可以实现压缩、弯曲、疲劳、纳米压痕、纳米划痕等测试。

  • 独特优势

  • 技术参数

    运动控制:粗调+细调;

    控制方式:xyz三轴定量运动控制;

    粗调量程:±2 mm(精度100nm);

    细调量程:X/8 μm,Y、Z/10 μm (精度0.2nm);

    力学测试精度:优于10nN 支持实时获取力-位移曲线;

    力学测试模式:压缩、拉伸、 恒定力、恒位移。

     

     

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