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高真空存杆仪

产品特点

由高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统组成,具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境,检测灵敏度高,可快速检查样品杆和MEMS芯片密封性,保证电镜安全;也可存储样品杆,长期处于高真空状态,减少进样预抽时间。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
  • 产品组成

     

    序号

    分项内容

    数量

    1

    可视化高真空原位检漏腔体(适配)

    1套

    2

    真空数据数据读取及控制器

    1套

    3

    检漏仪支架及柜体

    1台

    4

    高真空发生系统

    1套

    5

    高分辨数字显微系统

    1套

    6

    三维移动支架

    1套

  • 独特优势

     

    接口模块含真空控制阀,可在电源关闭时保持真空状态,也可在检漏完成时通入气体,快速取出样品杆;

     

    高分辨数字显微系统由自动对焦相机、数码显示屏、高分辨显微镜、照明同轴光源组成,分辨率优于1微米,帧率大于等于30帧/秒;

     

    采用多级减震设计,极大降低抽真空过程震感、噪音

     

  • 技术参数

     

    功能

    参数

    整体尺寸

    L*W*H=600*600*1250,柜台高805(单位:mm),以实物为准;

    压力范围

    0-1000 hPa

    适用电镜

    FEI、JEOL、Hitachi

    极限真空

    ≤8×10-7 hPa

    原位样品台检漏操作真空度

    ≤5.4×10-6 hPa

    倾转角

       α=±20°(实际范围取决于透射电镜和极靴型号)

    (HR)TEM/STEM

    支持

    (HR)EDS/EELS/SAED

    支持

    温度范围

    RT~100 ℃,可升级高温芯片 RT~500 ℃

    温度稳定性

    ±0.1 ℃

    温度精度

    ±0.01 ℃

    加热均匀性

    99.50%

    芯片池厚度

    100~200 nm(可自行组装调整厚度)

    电流范围

    pA~mA

    电压范围

    ±10 V

    液体流速

    0 nL/min–8uL/min

     

     

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