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扫描电镜高温原位系统

产品特点

通过MEMS芯片对样品施加热场控制,在原位样品台内构建热场自动控制及反馈测量系统,结合EDS、EBSD等多种不同模式,实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
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    a.原位加热样品台
    b.原位专用电镜法兰
    c.扫描样品台暂存盒
    d.MEMS原位加热芯片
    e.温度控制程序
    f.温度控制器
    g.附件包

     

     

     

     

    关键词:
    • 扫描电镜
    • MEMS原位加热芯片
    • 扫描电镜高温环境原位样品台
    • SEM固体加热
    • 原位扫描电镜加热电镜
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    高分辨率 ·独创的MEMS微加工工艺,加热芯片视窗区域的氮化硅膜厚度最薄可达10 nm,可达到扫描电镜极限分辨率。
    优异的热学性能

    ·1.高精密红外测温校正,微米级高分辨热场测量及校准,确保温度的准确性。

    ·2.超高频控温方式,排除导线和接触电阻的影响,测量温度和电学参数更精确。
    ·3.采用高稳定性贵金属加热丝(非陶瓷材料),既是热导材料又是热敏材料,其电阻与温度有良好的线性关系,加热区覆盖整个观测区域,升温降温速度快,热场稳定且均匀,稳定状态下温度波动≤±0.01℃。
    ·4.采用闭合回路高频动态控制和反馈环境温度的控温方式,高频反馈控制消除误差,控温精度±0.01℃。
    ·5.独特多级复合加热MEMS芯片设计,控制加热过程热扩散,极大抑制升温过程的热漂移,确保实验的高效观察。
    ·6.加热丝外部由氮化硅包覆,不与样品发生反应,确保实验的准确性。
    智能化软件

    ·1.人机分离,软件远程控制气体条件,全程自动记录实验细节数据,便于总结与回顾。

    ·2.自定义程序升温曲线。可定义10步以上升温程序、恒温时间等,同时可手动控制目标温度及时间,在程序升温过程中发现需要变温及恒温,可即时调整实验方案,提升实验效率。
    ·3.内置绝对温标校准程序,每块芯片每次控温都能根据电阻值变化,重新进行曲线拟合和校正,确保测量温度精确性,保证高温实验的重现性及可靠性

           

     

     

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    类别 项目 参数
    基本参数 台体材质 高强度钛合金
    漂移率 <0.5nm/min
    分辨率 扫描电镜极限分辨率
    EDS/EBSD 支持

           

    了解更多详情

  • Synthetic scheme for the prepa- ration of ZIF-67 crystals and GC

     

    SEM images, TEM images , and HRTEM images of GC (d−f),

     

     

    ZIF-67 after heated

     

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