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MEMS静态液体池芯片

产品特点

采用键合内封及环氧树脂外封的封装方式,将上下两个芯片组成一个液体池(Liquid Cell),在TEM内结合EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式,实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在液氛环境中的微观结构演化、反应动力学、相变、元素价态、化学变化、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
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    关键词:
    • MEMS静态液体池芯片
    • 液体池芯片
    • MEMS流体芯片
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    原位观测

    ·1.可在真空环境下原位观测化学反应动态过程、材料生长过程、金属固液界面腐蚀过程。

    ·2.可对液态环境中的活细菌和细胞等生物样品进行观测研究。
    业界最高分辨率

    ·1.独创的MEMS加工工艺,芯片视窗区域的氮化硅膜厚度最薄可达10 nm。

    ·2.芯片间夹层最薄仅约100~200 nm,超薄夹层大幅减少对电子束的干扰,可清晰观察样品的原子排列情况,液相环境可实现原子级分辨。
    ·3.经过特殊设计的芯片视窗形状,可避免氮化硅膜鼓起导致液层增厚而影响分辨率。
    高安全性

    ·1.液体样品量为纳升级,有效保证电镜安全。

    ·2.芯片封装采用键合内封以及环氧树脂外封双保险方式。
    ·3.采用超高温镀膜技术,芯片视窗区域的氮化硅膜具有耐高温低应力耐压耐腐蚀耐辐照等优点。
    操作便捷成本低

    ·1.注液、封口两步完成,操作简单,成功率高。

    ·2.适用于各厂牌TEM holder,无需定制样品杆,原位实验成本低。
    团队优势

    ·1.团队带头人在原位液相TEM发展初期即参与研发并完善该方法。

    ·2.独立设计原位芯片,掌握芯片核心工艺,拥有多项芯片专利。
    ·3.团队20余人从事原位液相TEM研究,可提供多个研究方向的原位实验技术支持

           

     

     

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    类别 项目 参数
    基本参数 窗口氮化硅膜厚 标配20nm(可升级10nm)
    液体通道厚度 100~200nm
    注液口尺寸 0.74*0.54mm
    窗口尺寸 8*50um

           

     

     

     

     

     

    了解更多详情

     

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    Structure and composition analysis of Sn@SnOx nanocrystals synthesized by thermal deposition. a Low- and b high-magnification TEM images and c HAADF-STEM image of the Sn-SnOx core-shell structure.

    Structure determination of Sn core using HRTEM.  a HRTEM image. b Inverse FFT of the selected red square region.

    a Sequential in-situ TEM images showing the nucleation and dissolution of In nanoclusters in the quasi-liquid phase.

     

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