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透射电镜高倾角热电原位系统

产品特点

通过MEMS芯片对样品施加热场、电场控制,在高倾角样品台内构建热电复合多场自动控制及反馈测量系统,结合使用EDS、EELS、SAED、HRTEM、STEM等多种不同模式,实现从纳米甚至原子层面实时、动态监测样品在真空环境下随温度、电场变化产生的微观结构、相变、元素价态、微观应力以及表/界面处的原子级结构和成分演化等关键信息。

  • 产品组成
  • 独特优势
  • 功能参数
  • 应用案例
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    a.高倾角热电原位样品杆
    b.MEMS原位热电芯片
    c.温度控制程序
    d.温度控制器
    e.双倾控制器
    f.附件包
    关键词:
    • 透射电镜
    • MEMS原位热电芯片
    • 高倾角热电原位样品杆
    • 原位真空热电
    • 原位透射固体样品杆
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    更多关键信息 ·倾转角度≥±75°,通过一系列不同倾斜角获得更多二维成像信息
    优异的电学性能

    ·1.采用模拟校验独特设计的芯片电极,电场分布均匀、电位稳定,芯片表面的保护性涂层保证电学测量的低噪音和精确性,电流测量精度可达pA级。

    ·2.MEMS微加工特殊设计,在加热过程中可同时进行电学试验和表征,不影响温度稳定性。
    优异的热学性能

    ·1.高精密红外测温校正,微米级高分辨热场测量及校准,确保温度的准确性。

    ·2.采用高稳定性贵金属加热丝(非陶瓷材料),既是热导材料又是热敏材料,其电阻与温度有良好的线性关系,加热区覆盖整个观测区域,升温降温速度快,热场稳定且均匀,稳定状态下温度波动≤±0.01℃。
    ·3.采用闭合回路超高频动态控制和反馈环境温度的控温方式,高频反馈控制消除误差,控温精度+0.01℃。
    ·4.独特多级复合加热MEMS芯片设计,控制加热过程热扩散,极大抑制升温过程的热漂移,确保实验的高效观察。
    ·5.加热丝外部由氮化硅包覆,不与样品发生反应,确保实验的准确性。
    高效的智能化软件

    ·1.人机分离,软件远程控制实验条件,程序自动化控制倾转角度。

    ·2.自定义程序升温曲线。可定义10步以上升温程序、恒温时间等,同时可手动控制目标温度及时间,在程序升温过程中发现需要变温及恒温,可即时调整实验方案,提升实验效率。
    ·3.内置绝对温标校准程序,每块芯片的每次控温都能根据电阻阻值变化,重新进行曲线拟合和校正,确保测量温度精确性,保证高温实验的重现性及可靠性。

           

  • 类别 项目 参数
    基本参数 杆身材质 高强度钛合金
    视窗膜厚 无膜或20nm
    适用电镜 Thermo Fisher/FEI, JEOL, Hitachi
    适用极靴 ST, XT, T, BioT, HRP, HTP, CRP
    倾转角 α ≥ ±75°(实际范围取决于极靴型号)
    (HR)TEM/STEM 支持
    (HR)EDS/EELS/SAED 支持升温过程及高温检测

     

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