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高分辨数字显微系统结合高真空预抽系统,具有极高的直接压力分辨率 和泄漏检测灵敏度。完美模拟电镜内环境,检测灵敏度高,可快速检查 样品杆和MEMS芯片密封性,保证电镜安全;也可存储样品杆,长期处 于高真空状态,减少进样预抽时间。
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