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CHIPNOVA原位透射电镜高温力学解决方案及应用案例
2022-05-16
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力-热系统
系统组成
图1
设备工作流程
图2 钨纳米柱原位压缩实验
视频1 钨纳米柱受力发生弹性形变过程
测试前，利用FIB将样品焊接加热芯片端，将金刚石焊接在力学传感端，力学测试过程中，加热芯片跟随运动控制模块向前运动，并力学传感芯片接触受力，样品在加热条件下发生压缩或拉伸。
力学传感器
图3
运动控制模块
图4
高温加热模块
图5
| 技术指标 |
| 两电极反馈控温 |
| 绝对温标设计，消除系统误差 |
| RT-400℃， RT-800℃（任选） |
| 控温精度：0.01℃ |
| 温度均匀性：优于99.5% |
| 支持FIB制样 |
| 芯片可重复使用 |
| 优势 |
| 力学精度高 |
| 可实现800℃高温力学测试 |
| 可实时获取应力应变曲线 |
| 三轴定量运动控制，定位精度高 |
| 支持压缩、拉伸、恒定力、恒位移多种力学测量模式 |
应用案例
图5 钨纳米柱原位压缩实验
视频2 钨纳米柱受力发生弹性形变过程
图6 钨纳米柱原位压缩实验
视频3 钨纳米柱受力发生弹性形变和塑性形变过程
视频4 钨纳米片受力压缩过程中应力纹的动态变化
图7 铜纳米柱原位力学实验
视频5 600℃高温条件下Cu纳米柱力学性能测试
图8 碳球原位力学实验
视频6 碳球受力发生弹性形变过程
图9 碳球原位压缩力学实验
视频7 碳球受力发生塑性形变过程
视频8 纳米尺度操纵碳球在金刚石表面发生滚动摩擦
TEM原位设备周边产品及服务
图10
| 真空存杆仪 |
| 为样品杆提供长期的高真空存储环境，避免环境污染，同时也可用于清洁样品杆。极限真空度为10-7hPa，储存真空度为10-5-10-7hPa，用户可自行设置真空度。智能化触屏设计，使用便捷，用户可独立存取样品杆，互不干扰，并拥有真空度检测 、真空度智能维持、漏气报警功能。 |
图11
|
高真空检漏仪 |
| 为样品杆提供长期的高真空存储环境，避免环境污染，同时也可用于清洁样品杆。极限真空度为10-7hPa，储存真空度为10-5-10-7hPa，用户可自行设置真空度。智能化触屏设计，使用便捷，用户可独立存取样品杆，互不干扰，并拥有真空度检测 、真空度智能维持、漏气报警功能。 |
图12
•原位样品杆定制 •MEMS芯片定制 •MEMS工艺代加工 •原位透射电镜测试 •透射电镜样品杆维修
科研成果
Applied Catalysis B: Environmental, 2021, 284: 119743.
Small Methods, 2021, 5(7): 2001234
Nano Research, 2021, 14(8): 2805-2809.
Applied Catalysis B: Environmental, 2022, 307: 121164.
暂无数据
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