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2022-05-16

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力-热系统

系统组成

图1

 

设备工作流程

图2 钨纳米柱原位压缩实验

视频1 钨纳米柱受力发生弹性形变过程

测试前,利用FIB将样品焊接加热芯片端,将金刚石焊接在力学传感端,力学测试过程中,加热芯片跟随运动控制模块向前运动,并力学传感芯片接触受力,样品在加热条件下发生压缩或拉伸。

 

力学传感器

图3

 

 

运动控制模块

图4

 

高温加热模块

图5

技术指标
两电极反馈控温
绝对温标设计,消除系统误差
RT-400℃, RT-800℃(任选)
控温精度:0.01℃
温度均匀性:优于99.5%
支持FIB制样
芯片可重复使用

 

 

优势
力学精度高
可实现800℃高温力学测试
可实时获取应力应变曲线
三轴定量运动控制,定位精度高
支持压缩、拉伸、恒定力、恒位移多种力学测量模式

 


应用案例

图5 钨纳米柱原位压缩实验

 

视频2 钨纳米柱受力发生弹性形变过程 

 

图6 钨纳米柱原位压缩实验

 

视频3 钨纳米柱受力发生弹性形变和塑性形变过程

 

视频4 钨纳米片受力压缩过程中应力纹的动态变化

 

图7 铜纳米柱原位力学实验

 

视频5 600℃高温条件下Cu纳米柱力学性能测试

 

图8 碳球原位力学实验

 

视频6 碳球受力发生弹性形变过程

 

图9 碳球原位压缩力学实验

 

 视频7 碳球受力发生塑性形变过程

 

视频8 纳米尺度操纵碳球在金刚石表面发生滚动摩擦

 


TEM原位设备周边产品及服务

图10

真空存杆仪
为样品杆提供长期的高真空存储环境,避免环境污染,同时也可用于清洁样品杆。极限真空度为10-7hPa,储存真空度为10-5-10-7hPa,用户可自行设置真空度。智能化触屏设计,使用便捷,用户可独立存取样品杆,互不干扰,并拥有真空度检测 、真空度智能维持、漏气报警功能。

 

图11

高真空检漏仪

为样品杆提供长期的高真空存储环境,避免环境污染,同时也可用于清洁样品杆。极限真空度为10-7hPa,储存真空度为10-5-10-7hPa,用户可自行设置真空度。智能化触屏设计,使用便捷,用户可独立存取样品杆,互不干扰,并拥有真空度检测 、真空度智能维持、漏气报警功能。

 

图12

•原位样品杆定制   •MEMS芯片定制    •MEMS工艺代加工   •原位透射电镜测试    •透射电镜样品杆维修


科研成果

Applied Catalysis B: Environmental, 2021, 284: 119743.

 

Small Methods, 2021, 5(7): 2001234

 

Nano Research, 2021, 14(8): 2805-2809.

 

Applied Catalysis B: Environmental, 2022, 307: 121164.

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